반도체 공정 중에서 핵심 공정에 해당하는 건식식각관련 업무에 종사하면서 새로운 기술을 접할 때 마다 논문을 읽으며 방대한 분량의 자료들을 분석하고, 필요한 부분만을 발췌하여 일목요연하게 정리를 해야 할 필요를 느끼게 되었다. 또한, 후임 연구원, 엔지니어들이 입사 할 때마다, 그들을 교육시키고 기술을 전수하기 위하여서 프리젠테이션 자료를 준비하지만 기초 이론에서부터 응용에 이르기까지 모든 것을 한꺼번에 전수하기에는 상당한 시간이 소요 되었다. 특히, 건식식각 분야의 기술은 Technology node size의 감소로 인하여 점점 중요한 역할을 차지하고 있으나, 체계적인 이해와 기술습득을 위한 추천할 만한 도서가 국내에 없음을 알게 되었다. 또한, 최신 기술을 섭렵하기 위하여 논문을 읽을 것을 권하는 것 외에는 딱히 다른 해결책이 없음이 답답한 상황이었다.
그러던 중, 작년 중순에 일본에서 발간된 건식식각만을 다룬 한 권의 전문서적을 접하게 되었다. 더욱이, 식각 기술의 글로벌 선도기업인 LAM Research에서 연구소장을 역임한 Nojiri Kazuo씨가 저술한 책이기에 오랜 세월의 실무 노하우를 얻을 수 있을 것이라 기대하며 책을 구독하게 되었다. 한 장 한 장 각 chapter를 읽어 나가며, 너무나도 알기 쉽고 체계적으로 쓰여져 있었기에 상당한 도움이 되었다. 또한, 기존에 경험적으로 알고 있던 부분들을 이론적으로 체계화하고 이해할 수 있어서 단숨에 책 한 권을 마무리 하게 되었다.
1장 반도체 집적회로의 발전과 건식식각 기술
2장 건식식각(Dry Etching)의 메커니즘
3장 각종 재료의 식각
4장 건식 식각장치
5장 건식식각에 의한 손상(Damage)
6장 새로운 식각기술
7장 원자층 식각(ALE)
8장 건식식각 기술의 과제와 전망