진공기술실무 (개정판) > 반도체

1장 진공의 기초

2장 Oil Rotary Vane Pump

3장 Dry pumping Technology

4장 부스터 펌프에 관하여

5장 터보 분자 펌프의 작동 원리 및 전망

6장 Cryo pump에 대해서

7장 오일 확산 펌프(Diffusion pump)

8장 Getter pump에 관하여

9장 이온 주입 장치의 진공 문제에 관하여

10장 Leak Detector와 Leak 감지법

11장 반도체 제조 공정과 진공 문제

12장 진공 시스템에서의 수증기

13장 300mm wafer용 진공 펌프들

14장 공정부산물(by-products)이 배기 시스템에 미치는 영향

15장 W - CVD와 식각 공정에 관하여

16장 배기 시간(Pumping down time)의 계산

17장 Stainless Steel Passivation

18장 휘발성 유기 화합물(VOCs: Volatile Organic Compounds) 처리에 관하여

19장 진공시스템의 문제 진단과 그 조치

20장 스테인레스 스틸의 outgassing과 UHV 시스템용 진공 펌프