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나노 집적회로 공정기술 > 반도체

도서간략정보

나노 집적회로 공정기술
판매가격 21,000원
저자 윤영섭
도서종류 국내도서
출판사 도서출판 홍릉
발행언어 한국어
발행일 2005-01
페이지수 414
ISBN 8972833517
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  • 도서 정보

    도서 상세설명

    제1장 반도체 칩 제작의 소개
    제2장 산화
    제3장 확산
    제4장 이온주입
    제5장 박막증착
    제6장 리소그래피
    제7장 식각기술
    제8장 상호접속과 평탄화
    제9장 집적회로 공정
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